1738년 초, 스위스의 다니엘 베르누이는 최초의 베르누이 방정식을 기반으로 물의 흐름을 측정하기 위해 차압법을 사용했습니다. 나중에 이탈리아의 GB 벤투리는 벤투리 튜브를 사용하여 흐름을 측정하는 방법을 연구하고 1791년에 연구 결과를 발표했습니다.
1886년에 미국인 허셜은 벤추리 관을 사용하여 물의 흐름을 측정하는 실용적인 측정 장치를 만들었습니다.
-20세기 초에서 중반에 이르러 원래의 측정 원리가 점차 성숙해지면서 사람들은 더 이상 원래의 측정 방법에만 사고를 국한하지 않고 새로운 탐구를 시작했습니다.
1930년대에는 음파를 이용하여 액체와 기체의 유량을 측정하는 방법이 있었지만, 2차 세계대전 때까지는 큰 진전을 이루지 못했다. 1955년에야 음향 사이클 방식을 이용한 맥슨 유량계가 항공 연료의 유량을 측정하는 데 도입되었다.
1960년대 이후, 측정 장비는 정밀화, 소형화를 향해 발전하기 시작했습니다.
집적 회로 기술의 급속한 발전으로 위상 잠금 루프 기술을 갖춘 초음파(파) 유량계도 널리 사용되었습니다. 마이크로컴퓨터의 광범위한 사용으로 유량 측정 능력이 더욱 향상되었습니다. 예를 들어, 레이저 도플러 유량계는 마이크로컴퓨터를 사용한 후 더 복잡한 신호를 처리할 수 있습니다.